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半导体行业硅烷废气处理工艺
一、硅烷废气简述
多晶硅,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。硅烷废气属于有毒、易燃易爆的废气,它对人身体健康有伤害,因此,企业在工业生产活动过程产生硅烷废气,为了保持良好的工作条件和防止破坏自然环境,需要对工业生产过程对产生的硅烷废气处理,显得尤为重要。
二、硅烷废气处理工艺
硅烷废气具有易燃易爆气体,同时又属于弱酸性气体,因此,对于硅烷废气处理可采用碱洗法、燃烧法处理即可处理,接下来详细介绍硅烷废气处理工艺。
(1)碱洗法
将集气罩收集硅烷废气通过管道输送进入碱洗塔,经碱洗塔酸碱中和处理,达标排放。
(2)燃烧法-TO直燃炉
采用TO直燃式废气焚烧技术,对氧化和碳化过程中产生的废气进行焚烧。该废气焚烧装置在有效处理废气的同时,还能将焚烧产生的热量进行回收利用,如通过热交换器,将废气中的热量传递给氧化用的新鲜空气,节约了一定的能源。TO直燃炉由全自动点火器将喷入燃烧室的柴油点燃,所有废气在燃烧室里被加热到大约850℃,有毒气体在燃烧室里被高温焚烧掉。由低温和高温碳化炉排放出的高浓度有毒废气直接通过喷嘴(管口)进入燃烧室。氧化炉排放出的大流量废气被分成两股,一小部分被用作助燃空气,另一部分在温度为650℃以上的废气预热器中与焚烧炉排放标准的尾气,经换热器将热量传递给供氧化炉使用新鲜空气。
来源:环保
标签:   硅烷废气处理
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